上海微泓自动化设备有限公司

  本单位（ShanghaiMicro-MotionAutomationCO、，LTD）成立于2008年2月，由留学德国的归国人员创立的高科技企业，落户上海漕河泾高科技开发区浦江科技园。微泓自动化专门从事超精密运动、微纳精密定位和操作等技术与产品研发、制造与销售。致力于为用户提供微/纳米级精密运动、定位控制与操作控制的完美的解决方案。并提供标准产品、系统集成和用户定制设计的产品与相关技术咨询服务。标准产品包括：1）1-6***度纳米定位平台与控制系统（包括高真空与高洁净产品）；2）1-6***度微定位平台与控制系统（包含包括高真空与高洁净产品）；3）晶圆输送真空机械手；4）晶圆输送洁净大气机械手；微泓自动化的企业精神“微准达境，泓渊致远”，寓意“精密运动与定位控制产品的研发与制造进入微纳的境界，企业内涵如泓潭汇水，心存高远”。微泓自动化与上海交通大学微纳精密驱动与控制实验室(MNMLab)是长期“产学研”联盟，共同承担国家重大科技专项课题。微泓自动化拥有实力雄厚的技术研发与产品设计队伍，积累了丰富的制造与产品应用经验。微泓自动化随时为客户的精密运动，微纳精密定位与操作控制的需求提供高效帮助与解决方案。微泓自动化的技术与产品主要应用于：1）大规模集成电路制造装备；2）光电子制造装备；3）纳米制造装备与MEMS技术；4）科学仪器与精密计量；5）超精密加工；6）生物工程等。