苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司微纳制造分公司

  苏州工业园区纳米产业技术研究院有限公司苏州微纳制造MEMS中试平台，专注于6英寸微纳机电制造（MEMS）专业研发与代工的平台企业。公司开展包括MEMS研发，模型，制造，IP授权，技术咨询以及部分的测试封装服务。平台得到国家工信部、江苏省科技厅、苏州工业园区管委会、中科院苏州纳米所等单位的大力支持，隶属于苏州纳米科技发展有限公司（全国资）旗下全资子公司。总共启动1、8万平米基础设施建设，工艺场地设计为6英寸、8英寸同时兼容，目前投入使用6英寸主要场地1850平方米（十级与百级洁净等级），公共超净出租场地3400平方米。通过MEMS工艺与产品研发，打造中国中试代工的品牌，引领MEMS产业资源的***和聚合发展。